На рис. 1.6 и 1.7 (выше) представлены симметричный чувствительный элемент емкостного акселерометра и вид установки на МЭМС-пластину интегральных микросхем.

Благодаря технологии CoM можно получить полноценное функциональное МЭМС-устройство с размером корпуса по периметру 4×2 мм и высотой 1 мм. Данная технология полностью готова для производства датчиков, как для небольших партий, так и в промышленных масштабах.

В табл. 1.2 представлены технические характеристики емкостного трехосевого акселерометра.

Таблица 1.2. Технические характеристики емкостного трехосевого акселерометра

Благодаря отличным характеристикам по стабильности и вибрационной надежности рассматриваемые акселерометры могут успешно применяться в следующих сферах:

• электронный контроль стабильности движения контролируемого устройства;

• система помощи при старте двигателя на подъеме;

• электронный стояночный тормоз;

• электронная защита от переворачивания;

• регулировка подвески;

• контроль углов наклона;

• встроенные инерциальные системы;

• применение в промышленности для различных устройств.

Существует много способов производства и применения микроэлектромеханических сенсоров. В качестве производственных площадок можно отметить немецкие предприятия, входящие в состав Ассоциации Silicon Saxony e.V., институт Fraunhofer, корпорации Honeywell International Inc. и Analog Devices Inc. (США), Московский государственный институт электронной техники (МИЭТ), a также компании-производители радиоэлектронных компонентов, расположенные в разных странах мира.

Работа организуется по следующим актуальным направлениям:

• выработка рекомендаций для заказчиков по применению тех или иных сенсоров мировых производителей при производстве российских систем;

• поставка различных датчиков (на базе МЭМС и других принципах) для измерения ускорения, угловых скоростей, давления, скорости потока жидкости или газа, температуры, влажности, определения движения объекта и его скорости, распознавания магнитных полей (компас);

• доработка различных сенсорных компонентов известных мировых производителей под требования заказчика (изменение в ту или иную сторону диапазона измерений, функциональных характеристик и т. д.) с дальнейшим производством доработанных датчиков на «родном» заводе-изготовителе;

• организация проведения программы испытаний сенсорной ЭКБ в одном из российских или зарубежных сертификационных центров с выдачей сертификата установленного образца;

Текст предоставлен ООО «ЛитРес».

Прочитайте эту книгу целиком, купив полную легальную версию на ЛитРес.

Безопасно оплатить книгу можно банковской картой Visa, MasterCard, Maestro, со счета мобильного телефона, с платежного терминала, в салоне МТС или Связной, через PayPal, WebMoney, Яндекс.Деньги, QIWI Кошелек, бонусными картами или другим удобным Вам способом.